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离子束技术及应用

离子束技术及应用

作者：刘金声编著

出版社：国防工业出版社

出版时间：1995-01-01

ISBN：9787118013122

定价：¥15.80

内容简介

　　本书分六章：电子轰击离子源等离子体特性及设计基础; 离子光学系统及基本设计方法; 离子源结构设计优化法; 离子源阴极的设计方法; 离子束刻蚀（IBE）工艺基础; IBE在器件制造中的应用.

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