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外延生长技术

外延生长技术

作者：杨树人，丁墨元编著

出版社：国防工业出版社

出版时间：1992-07-01

ISBN：9787118009187

定价：¥15.90

内容简介

　　共包括：外延生长概述，衬底的制备、气相外延生长、硅气相外延生长、液相外延生长、固相外延生长、异质外延生长等内容。

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