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外延生长技术
作者:杨树人,丁墨元编著
出版社:国防工业出版社
出版时间:1992-07-01
ISBN:9787118009187
定价:¥15.90
内容简介
共包括:外延生长概述,衬底的制备、气相外延生长、硅气相外延生长、液相外延生长、固相外延生长、异质外延生长等内容。
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