电子工业生产技术手册（8 半导体与集成电路卷）

　　本书共16章。阐述了化合物半导体器件及集成电路的清洗与腐蚀、外延、离子注入通用工艺，同时介绍了包括微波及毫米波二端器件、场效应器件的设计与制造与可靠性，及新器件和集成技术。

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