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薄膜科学与技术手册

薄膜科学与技术手册

作者:田民波,刘德令编译

出版社:机械工业出版社

出版时间:1991-03-01

ISBN:9787111024873

定价:¥42.00

内容简介
  本册包括薄膜基础,薄膜制备工艺,薄膜的性能检测三篇
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