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薄膜科学与技术手册
作者:田民波,刘德令编译
出版社:机械工业出版社
出版时间:1991-03-01
ISBN:9787111024873
定价:¥42.00
内容简介
本册包括薄膜基础,薄膜制备工艺,薄膜的性能检测三篇
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