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薄膜科学与技术手册

薄膜科学与技术手册

作者：田民波，刘德令编译

出版社：机械工业出版社

出版时间：1991-05-01

ISBN：9787111026297

定价：¥52.00

内容简介

　　本书介绍了薄膜基础，薄膜制备工艺，薄膜性能检测和薄膜技术的应用。本册为薄膜技术的应用。

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