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等离子体与成膜基础

等离子体与成膜基础

作者：（日）小沼光晴著；张光华编译

出版社：国防工业出版社

出版时间：1994-06-01

ISBN：9787118011418

定价：¥11.40

内容简介

　　分：等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。

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