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离子镀及溅射技术

离子镀及溅射技术

作者：陈宝清主编

出版社：国防工业出版社

出版时间：1990-01-01

ISBN：9787118005776

定价：¥7.35

内容简介

　　本书系统阐述了用物理气相沉积技术对材料表面进行改性加工的基础理论、工艺方法和应用。

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