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等离子体化学与工艺

等离子体化学与工艺

作者：赵化侨编著

出版社：中国科学技术大学出版社

出版时间：1993-02-01

ISBN：9787312003929

定价：¥6.70

内容简介

　　阐述了等离子体化学的基本理论和和应用技术，包括：等离子体的发生、辉光放电过程的应用与解析、溅射制膜等8章。

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