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薄膜技术
作者:王力衡等编著
出版社:清华大学出版社
出版时间:1991-10-01
ISBN:9787302008668
定价:¥3.95
内容简介
本书介绍了制膜技术与原理,薄膜的结构,薄膜的电、力学、光学、磁学性能,以及超导薄膜、半导体薄膜的性能等知识。
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