书籍详情
电子束离子束技术
作者：赵玉清编著
出版社：西安交通大学出版社
出版时间：2002-03-01
ISBN：9787560510859
定价：¥28.00
内容简介
本书主要介绍电子束离子束的产生、引出、加速和偏转的工作原理，物理过程和主要部件等内容，并通过电子束离子束在微电子领域中的应用，进一步阐述了它与纳米技术信息相关的扫描隧道显微镜技术。本书为高等学校微电子技术专业的教科书。
作者简介
暂缺《电子束离子束技术》作者简介
目录
暂缺《电子束离子束技术》目录
猜您喜欢
