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微机电系统及其相关技术

微机电系统及其相关技术

作者：章吉良，杨春生编著

出版社：上海交通大学出版社

出版时间：1999-01-01

ISBN：9787313023070

定价：¥15.00

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内容简介

　　本书介绍了微机电系统概论；高深宽比微加工技术；微传感器与微执行器；键合技术；微机电系统的相关电路及应用实例等。

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