等离子体电子工程学

　　本书是21世纪大学新型参考教材系列之一，书中主要讲解等离子体中的微观运动，等离子体的宏观性质，气体放电与等离子体的形成，等离子体的生成方法，等离子体在电子、环境工程中的应用等。本书作者均为工作在专业教学、科研第一线的专家教授。书中内容新颖、重点突出，文字叙述深入浅出、流畅易懂。书中穿插有“篇外话”可作为正文内容的补充说明。各章末均有练习题，书后附有练习题解答。本书可供大学生、硕士生及科技工作者阅读参考。

　　本书提供作译者介绍菅井秀郎.编著，执笔：1～4章，6章，7章1971年 东北大学研究生院工学研究科博士毕业1971年 获工学博士现在 名古层大学研究生院工学研究科教授大江一行执笔：5章1966年 名古层工业大学研究生院工学研究科硕士毕业1975年 获工学博士现在 名古层工业大学生产系统工程专业教授张海波..1982年 西安交通大学电子工程系毕业1987年 西安交通大学电子物理与器件专业，获工学硕士1995年 日本大阪大学工学研究科博士研究生毕业，获工学博士现在 西安交通大学电子科...

1 等离子体电子学的学习方法
1.1等离子体概述
1.2等离子体的各种性质
1.3等离子体的应用
1.4本书的构成
练习题
2 等离子体中的微观运动
2.1单个粒子的运动
2.2粒子间的碰撞
2.3弹性碰撞中的能量损失
2.4原子的激发与电离
2.5分子的激发与离解、电离
练习题
3 等离子体的宏观性质
3.1分布函数与平均量
3.2等离子体基本方程
3.3等离子体的电中性
3.4粒子流动与密度分布
3.5等离子体鞘层
3.6能量平衡与粒子数平衡
练习题
4 气体放电与等离子体的形成
4.1气体的绝缘击穿――汤生的实验和理论
4.2放电起始电压――帕邢定律
4.3气体放电中的等离子体状态
4.4汤生理论的局限性
练习题
5 等离子体的生成方法Ⅰ――直流放电
5.1各种放电方法与放电模式
5.2辉光放电与低温等离子体
5.3电弧放电与热等离子体
5.4电晕放电与高气压低温等离子体
5.5磁控管放电
练习题
6 等离子体的生成方法Ⅱ――高频放电、微波放电
6.1等离子体生成与天线耦合
6.2平行板加RF电压――电容耦合等离子体
6.3线圈通RF电流――感应耦合等离子体
6.4等离子体中的波
6.5强电波照射――表面波等离子体
6.6使用磁场中的波――ECR等离子体和螺旋波等离子体
练习题
7 等离子体在电子、环境工程中的应用
7.1LSI制造工艺中的等离子体刻蚀法
7.2非晶硅薄膜的等离子体CVD制备法
7.3等离子体显示器件的工作原理
7.4利用等离子体的环境改善技术
练习题
练习题解答
参考文献
附录
篇外话
“等离子体”名称的由来
原子的内部状态和光谱标记
朗缪尔探针
流注的形成
表面磁场对等离子体的约束作用
朗道衰减与回旋衰减
用强光生成等离子体