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多芯片组件(MCM)技术及其应用

多芯片组件(MCM)技术及其应用

作者:杨邦朝,张经国主编

出版社:电子科技大学出版社

出版时间:2001-01-01

ISBN:9787810655811

定价:¥85.00

内容简介
  多芯片组件(MCM)是一种先进的微电子组装与封装技术,是目前能最大限度发挥高集成度、高速半导体IC性能,制作高速电子系统,实现电子整机小型化和系统集成的有效途径。本书从理论和技术两个方面全面、系统地论述了多芯片组件技术的基本概念、特点,发展MCM技术必须解决的关键技术,以及国内外多芯片技术发展现状。全书分三篇共20章,内容包括多芯片组件的电设计和热设计技术、高密度多层布线基板技术、LSI芯片的测试、组装与互连技术、MCM的封装与检测技术和可靠性分析技术等。此外,对于MCM技术在通信、计算机、宇航及工业和民用电子产品中的应用也作了较全面的介绍。本书可作为高等院校工科电子类专业研究生教材,也可供从事多芯片组件和整机系统集成的科研、设计、制造、应用等方面的工程技术人员使用。对于电子系统和微电子方面的专业管理干部也有一定的参考价值。
作者简介
暂缺《多芯片组件(MCM)技术及其应用》作者简介
目录
第一篇 总论                  
 第一章 电子组装技术概述                  
 1. 1 电子组装技术的变迁                  
 1. 2 电子组装工程学                  
 1. 2. 1 什么是电子组装工程学                  
 1. 2. 2 电子组装工程或技术的范围与体系                  
 1. 2. 3 电子组装工程学的构成体系                  
 1. 3 电子组装与电子封装                  
 1. 4 电子整机与电子组装的关系                  
 1. 5 整机与系统的组装层次                  
 1. 6 不同封装层次面临的技术课题                  
 1. 7 对电子整机与系统组装的评价                  
 参考文献                  
 第二章 现代微电子器件封装技术                  
 2. 1 微电子封装的基本功能与地位                  
 2. 2 现代电子产业对微电子封装的要求                  
 2. 3 微电子封装的发展历程                  
 2. 4 微电子封装的基本类型                  
 2. 5 现代电子封装的发展特点                  
 2. 6 几种最新的电子封装技术                  
 2. 6. 1 载带封装TCP(Tape Carrier Package)                  
 2. 6. 2 球栅阵列封装BGA(Ball Grid Array)                  
 2. 6. 3 倒装芯片技术FCT(Flip Chip Technology)                  
 2. 6. 4 芯片尺寸封装CSP(Chip Scale(Size)Package)                  
 2. 6. 5 直接芯片贴装技术DCA(Direct Chip Attach)                  
 2. 6. 6 多芯片组件(MCM)                  
 2. 6. 7 多芯片封装(MCP)                  
 2. 6. 8 三维封装(3D-MCM)                  
 2. 6. 9  GHz封装                  
 2. 6. 10  功率封装                  
 2. 7 下一代微电子封装技术的展望                  
 参考文献                  
 第三章 多芯片组件的定义. 分类及特点                  
 3. 1 引言                  
 3. 2 MCM的定义                  
 3. 3 MCM的基本构成                  
 3. 4 MCM的种类与结构特点                  
 3. 5 MCM的主要优点                  
 3. 6 多芯片组件的发展背景和驱动力                  
 参考文献                  
 第四章 发展多芯片组件的关键技术                  
 4. 1 引言                  
 4. 2 MCM用基板材料                  
 4. 3 多层布线基板                  
 4. 4 布线设计与布线材料                  
 4. 5 半导体IC裸芯片焊接(键合)技术                  
 4. 6 热设计与散热设计                  
 参考文献                  
 第五章 多芯片组作的应用市场和成本分析                  
 5. 1 MCM的应用低沉                  
 5. 2 MCM应用的分类                  
 5. 2. 1 产品领域分类法                  
 5. 2. 2 产品成本分类法                  
 5. 2. 3 产品定向分类法                  
 5. 3 MCM的成本构成及其影响因素                  
 5. 3. 1 MCM成本的组成                  
 5. 3. 2 影响MCM成本的因素                  
 5. 4 MCM的成本分析方法                  
 5. 4. 1 传统成本分析法                  
 5. 4. 2 基本活动成本分析法(ABC)                  
 5. 4. 3 技术成本模式(TCM)                  
 5. 5 技术成本模式的应用                  
 5. 5. 1 印制线路板                  
 5. 5. 2 共烧多层基板                  
 5. 5. 3  薄膜MCM                  
 5. 5. 4  MCM组装的成本                  
 参考文献                  
 第六章 多芯片组件的发展趋势                  
 6. 1 三维封装                  
 6. 1. 1 3D封装的优点                  
 6. 1. 2 3D封装存在的问题                  
 6. 1. 3 应用现状和前景                  
 6. 2 光电MCM                  
 6. 2. 1 光互连的特点                  
 6. 2. 2 光互连技术的现状                  
 6. 2. 3 光电MCM的现状及展望                  
 6. 3 金刚石基饭                  
 6. 3. 1 热沉用金刚石基板的特点                  
 6. 3. 2 存在的问题及相应措施                  
 6. 3. 3 应用现状和前景                  
 6. 4 超导MCM                  
 6. 4. 1 超导互连的特点                  
 6. 4. 2 存在的技术问题                  
 6. 4. 3 研究现状                  
 6. 4. 4 发展前景和展望                  
 6. 5 芯片尺度封装(CSP)                  
 6. 5. 1 芯片尺度封装(CSP)的定义                  
 6. 5. 2 CSP的特点                  
 6. 5. 3 CSP的分类                  
 6. 5. 4  CSP的应用现状和展望                  
 参考文献                  
 第二篇 多芯片组件的制造技术                  
 第七章 MCM-L多层市经基板技术                  
 7. 1 MCM-L的特点                  
 7. 1. 1 MCM-L的定义                  
 7. 1. 2 MCM-L的优点                  
 7. 1. 3  MCM-L的缺点                  
 7. 2  MCM-L工艺技术                  
 7. 2. 1 典型的PCB工艺                  
 7. 2. 2 液体光致抗蚀剂工艺                  
 7. 2. 3 直接电镀工艺                  
 7. 2. 4 层压工艺                  
 7. 2. 5 激光打孔工艺                  
 7. 2. 6 连续液压工艺(Roll-to-Roll)                  
 7. 3  MCM-L结构                  
 7. 3. 1 具有典型PCB结构的MCM-L                  
 7. 3. 2 多芯片封装结构                  
 7. 3. 3 使用挠性材料的MCM-L结构                  
 7. 4 MCM-L的基板材料                  
 7. 4. 1 MCM-L基极性能                  
 7. 4. 2 介质材料的发展                  
 7. 4. 3 挠性基板材料                  
 7. 5 MCM-L多层基板技术的发展动向                  
 参考文献                  
 第八章 MCM-C多层基板技术                  
 8. 1 厚膜多层基板技术                  
 8. 1. 1 厚膜多层基极的基本结构                  
 8. 1. 2 厚膜多层基极的工艺技术                  
 8. 1. 3 厚膜多层基极的基本材料                  
 8. 2 共烧陶瓷多层基极                  
 8. 2. 1 共烧陶瓷多层基极的基本结构                  
 8. 2. 2 共烧陶瓷多层基极的工艺技术                  
 8. 2. 3 共烧陶瓷多层基极的基本材料                  
 8. 3 MCM-C多层基板的设计技术                  
 8. 3. 1 MCM-C多层基权的设计要求                  
 8. 3. 2  MCM-C多层基权的设计程序                  
 8. 3. 3 MCM-C多层基极的设计规则                  
 8. 4 MCM-C多层基板技术的发展趋势                  
 参考文献                  
 第九章 MCM-D薄膜多层基板技术                  
 9. 1 薄膜多层互连结构和特性                  
 9. 2 薄膜多层布线材料                  
 9. 2. 1 基板材料                  
 9. 2. 2 导体材料                  
 9. 2. 3 介质材料                  
 9. 3 薄膜多层布线工艺技术                  
 9. 3. 1 金属膜淀积和图形形成技术                  
 9. 3. 2 介质膜加工和通孔形成技术                  
 9. 3. 3 金属布线展间通孔连接方式和平坦化技术                  
 9. 3. 4 元器件内埋置技术                  
 9. 4 薄膜多层基板的发展动向                  
 参考文献                  
 第十章 混合多层基板技术                  
 10. 1 混合多层基板的类型和特点                  
 10. 1. 1 厚膜-薄膜混合型                  
 10. 1. 2 共烧陶瓷-薄膜混合型                  
 10. 1. 3 印制板-薄膜混合型                  
 10. 2 共烧陶瓷-薄膜型混合多层基板设计考虑                  
 10. 3 共烧陶瓷-薄膜型混合多层基板的工艺和材料                  
 10. 3. 1 混合多层基板用低温共烧陶瓷多层基板工艺技术                  
 10. 3. 2 陶瓷-薄膜界面加工和互连技术                  
 10. 4 其他类型的混合多层基板                  
 10. 4. 1 厚膜-薄膜混合型多层基板                  
 10. 4. 2 印制板-薄膜混合型多层基板                  
 参考文献                  
 第十一章 MCM用芯片技术                  
 11. 1 MCM用芯片的结构特点与分类                  
 11. 2 IC芯片的制造及多芯片的焊装键合技术                  
 11. 2. 1 IC芯片的半导体工艺创造技术                  
 11. 2. 2  多IC芯片在MCM基板上的贴装焊接                  
 11. 2. 3  MCM的丝焊技合技术及比校                  
 11. 3  凸点芯片的制造工艺及倒装焊技术                  
 11. 3. 1 焊锡合金球凸点芯片制造技术                  
 11. 3. 2 物理化学淀积金凸点芯片制造技术                  
 11. 3. 3 球焊健合芯片凸点制作技术                  
 11. 3. 4 其他凸点制造技术                  
 11. 3. 5 料装连接技术                  
 11. 4 载带芯片的制造工艺及装连                  
 11. 4. 1 用于载带的芯片电机焊片处理                  
 11. 4. 2 载带导线的制造                  
 11. 4. 3 内部导线(ILB)键合                  
 11. 4. 4 外部导线(OLB)键合                  
 11. 4. 5 TAB技术的性能及返修                  
 11. 5 MCM用已知好芯片(KGD)技术                  
 11. 5. 1 几种集成电路芯片的测试筛选方法                  
 11. 5. 2 集成电路芯片的可测试性设计                  
 11. 6 MCM用芯片的发展策略                  
 参考文献                  
 第十二章 多芯片组件(MCM)封装技术                  
 12. 1 MCM封装技术的发展驱动力                  
 12. 2 MCM封装类型                  
 12. 3 MCM封装材料的选择                  
 12. 3. 1 陶瓷封装                  
 12. 3. 2 金属封装                  
 12. 3. 3 金属复合物(MMC)封装                  
 12. 4 MCM封装的密封技术                  
 12. 4. 1 MCM金属封装的密封技术                  
 12. 4. 2 MCM陶瓷材装的密封技术                  
 12. 4. 3 非气密性封装                  
 12. 5 MCM封装冷却技术                  
 12. 6  MCM封装的检测与评价                  
 12. 7 MCM封装的应用                  
 参考文献                  
 第十三章 多芯片组件的电设计                  
 13. 1 引言                  
 13. 2 数字电路设计中延迟和噪声的技术含义                  
 13. 3 传输延迟和反射噪声及其影响因素                  
 13. 3. 1 反射噪声                  
 13. 3. 2 传输线的损耗                  
 13. 3. 3 初始信号触发                  
 13. 3. 4 负载电容的影响                  
 13. 4 串扰噪声及其影响因素                  
 13. 5 同步开关噪声                  
 13. 6  MCM的EDA技术                  
 13. 6. 1 设计流程                  
 13. 6. 2 工艺选择及整体方案设计                  
 13. 6. 3 设计规则                  
 13. 7 MCM电设计举例                  
 13. 7. 1 数字MCM电设计实例                  
 13. 7. 2 模拟MCM电设计实例                  
 参考文献                  
 第十四章 多芯片组件的热设计                  
 14. 1 多芯片组件热设计的意义. 要求与原则                  
 14. 1. 1 多芯片组件热设计的重要意义                  
 14. 1. 2 多芯片组件热没什的要求                  
 14. 1. 3 多芯片组件热设计的原则                  
 14. 2 多芯片组件的热现象                  
 14. 2. 1 热传输机理                  
 14. 2. 2 多芯片组件中的热传输                  
 14. 2. 3 热阻的概念                  
 14. 2. 4 电路板上的热传输                  
 14. 2. 5 电子系统中的热耦合                  
 14. 3 多芯片组件的散热途径与热控制方法                  
 14. 3. 1 多芯片组件的散热途径                  
 14. 3. 2 多芯片组件的热控制方法                  
 14. 3. 3 多芯片组件冷却方法的选择                  
 14. 4 影响多芯片组件热性能的因素                  
 14. 4. 1 外部影响因素                  
 14. 4. 2 内部影响因素                  
 14. 5 热设计分析方法及程序                  
 14. 5. 1 热设计分析方法概述                  
 14. 5. 2 热分析工具                  
 14. 5. 3 热设计分析程序                  
 14. 5. 4 积分解析模拟法                  
 14. 5. 5 应用计算机的数值计算法                  
 14. 5. 6 实验法                  
 14. 5. 7 热分析实例                  
 参考文献                  
 第十五章 多芯片组件的检测技术                  
 15. 1 MCM检测的基本内容与方法                  
 15. 2 MCM多层基板电性能测试                  
 15. 2. 1 固定探针阵列式测试法                  
 15. 2. 2 单探针测试法                  
 15. 2. 3 双探针测试法                  
 15. 2. 4 三探外测试法                  
 15. 2. 5 电子束探针测试法                  
 15. 2. 6 几种测试方法的比校                  
 15. 3 多层基板形貌检测                  
 15. 3. 1 光学自动检测                  
 15. 3. 2 X光检测                  
 15. 3. 3 相敏非线性检测                  
 15. 4 MCM组件测试                  
 15. 4. 1 MCM组件在线测试                  
 15. 4. 2 组件非关量测试                  
 15. 4. 3 通用组件的功能测试                  
 15. 4. 4 含有 CPU或存储器组件的功能测试                  
 15. 5 可测性设计技术                  
 15. 5. 1 可测性设计技术的概念与分类                  
 15. 5. 2 边界扫描与1149. 1标准                  
 15. 5. 3 内建自测试设计                  
 15. 5. 4  MCM测试中运用BS与 BIST技术                  
 15. 5. 5 采用BS与 BIST实现系统测试技术                  
 15. 5. 6 边界扫描测试系统产品简介                  
 15. 5. 7 BS与BIST的综合评价与未来发展                  
 参考文献                  
 第十六章 MCM可靠性                  
 16. 1 MCM可靠性研究的范围和方法                  
 16. 1. 1 MCM可靠性研究的基本范围                  
 16. 1. 2  MCM可靠性研究的特点                  
 16. 1. 3  MCM可靠性研究的现状及必要性                  
 16. 1. 4 MCM的可靠性模型                  
 16. 2 MCM的可靠性设计                  
 16. 2. 1 MCM可靠性设计的方法                  
 16. 2. 2 可靠性设计的基本过程                  
 16. 2. 3 罗姆实验室用于可靠性设计的MCM分析器                  
 16. 3 MCM的可靠性试验和评价方法研究                  
 16. 4  MCM的失效分析技术研究                  
 16. 4. 1 MCM的失效分析程序                  
 16. 4. 2 分析实例                  
 16. 5 MCM的主要失效机理                  
 16. 5. 1 MCM的热与热应力失效                  
 16. 5. 2 MCM用芯X的失效分析及质量认证                  
 16. 5. 3  MCM中的互连失效及检测技术                  
 16. 5. 4 介质膜及粘合剂材料的可靠性                  
 16. 5. 5 印制电路版(PCB)封求高形现貌比电镀通孔(PTH)的可靠性                  
 参考文献                  
 第三篇 多芯片组件的应用                  
 第十七章 计算机用多芯片组件                  
 17. 1 超级计算机多芯片组件                  
 17. 1. 1 NEC SX系列超级计算机MCM                  
 17. 1. 2  IBM ES/9000超级计算机MCM                  
 17. 1. 3  VAX-9000计算机 MCM                  
 17. 2  高速简化指令计算机(RISC)多芯片组件                  
 17. 2. 1 MCM-Si型RISC组件                  
 17. 2. 2  MCM-C/D型  RISC组件                  
 17. 3 三维存储器多芯片组件                  
 参考文献                  
 第十八章 通信用多芯片组件                  
 18. 1 ATM多芯片组件                  
 18. 1. 1 设计考虑                  
 18. 1. 2 ATM多芯片组件实例                  
 18. 2 微波/毫米波多芯片组件                  
 18. 2. 1 卫星微波通信系统用多芯片组件                  
 18. 2. 2 35GHZ移相器接收机多芯片组件                  
 18. 3 全球定位系统(GPS)接收机多芯片组件                  
 参考文献                  
 第十九章 军事领域用多芯片组件                  
 19. 1 军事领域用MCM的特点                  
 19. 2 航天领域的应用                  
 19. 2. 1 飞船着陆控制系统                  
 19. 2. 2 用于卫星姿态控制的微电子机械陀螺仪                  
 19. 2. 3 NASA的先进飞行计算机组件(AFC)                  
 19. 3 航空领域的应用                  
 19. 3. 1 Hughes公司                  
 19. 3. 2  Rockwell公司                  
 19. 3. 3 Honeywell公司                  
 19. 3. 4  Martin Marietta公司                  
 19. 3. 5  GE公司                  
 19. 4 军用通信领域的应用                  
 19. 4. 1 战场液晶显示设备                  
 19. 4. 2 太阳敏感器和地球敏感器                  
 19. 4. 3 相位函数多路调制器MCM                  
 19. 4. 4 GPS接收机MCM                  
 19. 5 常规武器领域的应用                  
 19. 5. 1 导弹用MCM                  
 19. 5. 2 雷达用MCM                  
 参考文献                  
 第二十章 低成本多芯片组件及其应用                  
 20. 1 多芯片组件成本考虑的因素                  
 20. 2 塑封结构多芯片组件                  
 20. 2. 1 典型的塑封多芯片组件                  
 20. 2. 2 采用柔性膜基板和球栅阵列的塑封多芯片组件                  
 20. 2. 3 塑封型电源变换器多芯片组件                  
 20. 3 低成本镀铜MCM-D                  
 20. 4 MCM在汽车中的应用                  
 20. 5 MCM在消费类电子产品和医疗器械中的应用                  
 参考文献                  
 附录 MCM有关名词术语                  

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