来自第一线的支持让我信心十足

1976年3月,垂井先生担任所长的超LSI技术研究所,在通商产业省(现在的经济产业省)的主导下正式启动,开始着手超LSI制造设备的开发,此时半导体产业的发展被立为国策。除了曝光设备步进机,利用电子射线直接描画方式和X射线曝光设备的技术也发展起来。最早时,步进机被列为“第三研究重点”。

当时被称为“新时代芯片”的64千字节(KB)动态随机存储器(DRAM)的电路幅是1.5~2.0微米,超LSI技术研究所的目标则是研发出亚微米(1微米以下)的设备。

由于用于曝光的光线波长是0.4~0.5微米,所以光学步进机将电路幅控制在1.0微米还是有可能的,但即使日本光学仪器的技术再先进,研发出亚微米水平的镜头设备也任谁都没想过,这相当于在一根头发的断面上嵌入50条以上的线路。这种高精尖的加工技术,也许只能依靠电子射线或者X射线才能做得到。这是当时看起来最合理的分析。

就在垂井先生将步进机的开发重任点名交给日本光学的时候,我心里已经有了把握。我认为,要完成这项艰巨使命,核心技术在三个方面:第一,相当于步进机心脏的高解像力投影镜头;第二,装载了基板,并可以高速高精度移动的“超精密高速移动台”;第三,能够支持自动控制设备的光电传感器。这三项基本技术,当时的日本光学全部具备。

高解像力投影镜头方面,当时有最畅销产品超显微尼克尔镜头(Ultra-micro-nikkor)。这种镜头作为制造半导体主板的光掩膜板专用的镜头,在国内外都是数一数二的权威产品。

这种镜头的开发者就是高我8届的前辈胁本善司先生。他是一个执著的技术人员。尽管他有时会跟我抱怨 “你要搞步进机,那我的镜头就不好卖了啊”什么的,但一旦研究正式开始,他马上就亲自过来帮忙了。

移动台制作的研究课题是“要求能够笔直移动”。打个比方来说,我们要达到的精准程度就是,假如从东京向富士山射出一支箭,这支箭必须命中放置在山顶的一个网球。

将这种高精度技术的开发付诸实践的就是金子茂三郎先生。他是一个对技术孜孜以求的人,而且很有组织能力,总能把意见不一致的人聚拢在一起,将研究进行下去。

在当时的日本光学,像金子先生这样具有卓越技术能力的人才非常多。以前在公司内部,都有针对初高中毕业工作人员的技术培训所,也叫“专修科”。像我们这样理科大学毕业进入公司五六年的社员,往往作为老师对他们进行技术辅导和培训。他们非常认真刻苦,经常能提出十分深刻的问题。

我在专修科当老师的时候,给我印象最深的是一个叫大野康一的人。他初中毕业以后进入日本光学,靠自学开始研究光学,不知不觉间已经具备了大学毕业程度以上的专业知识。他被分配到质检部门,专门对新开发出的镜头进行检测,他还自己动手制作出了一套检测仪器。在步进机的开发过程中,我就把镜头的检测工作分配给了大野先生。

“二战”结束以后,很多学生虽然成绩优秀,但迫于家境无法继续上学。而恰恰是这样一群执著和勇于进取的青年,为日本光学在技术方面的发展提供了最有力的支持。

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