步进机的构造，简单说来，就是与显微镜正相反。显微镜是将细小的物质通过镜头扩大的机器；步进机正相反，是将描画在原板（光掩膜）上的电路图通过镜头缩小，并复制在晶片上做成半导体芯片。以前的主流做法是将原板直接焊接到晶片上，但随着微缩化程度的发展，半导体芯片的制作又有了新的方法。
由于使用投影镜头一次可曝光的面积有限，因此是让载有晶片的平台以纵横方向按照步进方式移动、停止，复写曝光位置的信息。这样制作一张晶体芯片需要上百次来回地移动复写。这种复写技术被称为“步进与重复”，后来衍生出“步进机”这个名词。
复写作业的速度特别快，比眨下眼还快。特别是最近的步进机有“扫描机”之称，光掩膜与晶片逆向行进，同时借由狭缝状的照明进行扫描曝光。
